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我国电子工业高纯水水质试行标准是什么?

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2013-08-08 16:42:36

  化学指标单位:μg/L

 序号

 水质项目

 一级高纯水指标

 二级高纯水指标

 1

 电阻率(25℃)MΩ·cm

 15

 10

 2

 电导率,μs/cm

 0.05

 0.1

 3

 PH

 6.87.2

 6。67.4

 4

 细菌总数,个/mL

 3

 9

 5

 微粒(直径>0.5μm,粒/mL

 150

 300

 6

 二氧化硅

 10

 20

 7

 有机物(以COD计)

 0.3

 0.5

 8

  Na

 0.5

 2

 9

  Fe

 1

 2

 10

  Cu

 0.5

 1

 11

  Ca

 1

 3

 12

  Mg

 0.2

 1

 13

  Zn

 0.5

 1

 14

  Mn

 0.2

 0.5

上海11选5走势图 说明:①一级电子工业高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。

  ②二级高纯水适用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。

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